一、日常維護清單
真空系統維護
真空泵油位檢查:每日觀察油位視窗,油位接近紅線時補充至紅標線上下區間;油質渾濁或真空泵噪音異常時立即更換。
管路密封檢查:每周檢查真空泵與腔體尾部連接件、三通閥接口是否松動,發現松動及時擰緊。
真空泵散熱:避免連續運行超過1小時,處理后關閉主電源,防止過熱損壞。
腔體清潔
日常清潔:用無塵布蘸酒精或丙酮輕輕擦拭腔體內壁,避免污染物積累影響等離子體均勻性。
深度清潔:每月使用精密粉狀清潔劑(如Alconox)清潔腔體,若污染物無法去除,需更換新腔體。
電極與噴嘴檢查
磨損檢查:每月檢查電極是否有積碳或磨損,長期使用后需翻新維護以保證清洗穩定性。
噴嘴清理:定期清理噴嘴積碳,防止等離子體生成受阻。
氣體供應系統
氣瓶壓力檢查:每日確認氣體是否開啟且未耗盡,檢查減壓表、氣路電磁閥及流量計是否正常工作。
氣路密封性:每月檢查氣體管路是否老化或漏氣,及時更換密封圈。
二、常見故障排查
真空度異常
故障現象:真空泵熱過載保護啟動或真空度無法達到設定值。
排查步驟:
檢查真空泵油位及油質,必要時更換泵油。
檢查真空腔門是否關緊,傳感器及線路是否正常。
逐級排查真空系統中各連接點,確認無管道連接不良或損壞。
等離子體不生成或密度低
故障現象:無法產生等離子體或等離子體密度不足。
排查步驟:
檢查射頻源輸出信號、射頻電纜及匹配網絡,維修故障點。
確認氣源壓力正常,壓力閥及真空閥無堵塞。
檢查腔壁是否污染,必要時進行深度清潔。
設備過熱
故障現象:設備內部溫度過高,保護機制啟動自動關閉。
排查步驟:
檢查冷卻系統是否正常工作,清理風機過濾器。
確認實驗室電壓穩定,避免電壓波動導致設備損壞。